電暈放電是產生臭氧的一種方式。產生機理為含氧氣體O2分子在電暈放電時受到電暈自由高能作用而分離為游離O，之間碰撞聚合形成O3分子。化學反應式如下：O2+E=O+O+E     O+O2+M=O3+M   (M為空氣中其它任一分子)
臭氧帶有濃重腥臭味，人體嗅覺濃度在0.1PPm。它具有氧化性，但化學穩(wěn)定性差易分解，常溫常壓下空氣中分解半衰期約為16h。分解速率與溫度和氣氛化學成分有關，環(huán)境溫度≥130℃時臭氧極速（1/1000秒）分解。
根據實驗室試驗結果表明，臭氧產生規(guī)律如下：
1) 與氣體含氧量有關，氧量越高產生臭氧濃度越大；
2) 與電場電極幾何形狀有關，針刺電極產生的臭氧量少，且濃度隨溫度升高而下降；非_電極產生的臭氧濃度大，且隨溫度上升而遞增；
3) 電場電壓越高，產生臭氧濃度越大；
4) 氣體流速越快，產生臭氧濃度越低；
5) 氣體溫度越高，產生臭氧濃度越大，但臭氧分解速度也加快。
為檢測電袋復合除塵器在運行狀態(tài)下電場區(qū)后端煙氣是否存在臭氧成份，福大化工學院完成了南京梅山電廠50MW機組、洛河電廠300MW機組、新鄉(xiāng)寶山電廠660MW機組3個電廠電袋復合除塵器現場進行煙氣成份測試。結果表明，在除塵器電場區(qū)后端及出口處，均沒有測試到臭氧成份。因此，在高溫、低氧、多種其它活性成份的煙氣條件下，電袋復合除塵器電場區(qū)產生的臭氧濃度極低且停留時間極短，對PPS濾袋使用壽命幾乎不影響。
另外，電除塵器經過近_的應用歷史，國內外至今沒有關于電場產生臭氧而增加煙氣腐蝕性的學術報道。2009年8月，福州大學化工學院組織前往華能福州電廠，在1臺3電場結構電除塵器進出口端進行NO含量煙氣測試，結果顯示該電除塵器進口端與出口端的煙氣中NO濃度變化微小?？梢?，布袋行業(yè)針對電袋復合除塵器提出了電場區(qū)產生臭氧增加煙氣SO3、NO2濃度的質疑缺乏依據。
2009年4月，東北大學在_袋式除塵器技術研討會上發(fā)表《臭氧對PPS濾料強力影響的實驗研究》論文。論述了臭氧在2400-4200mg/m3試驗濃度下， PPS濾料經過數十小時的浸泡后強力發(fā)生下降現象，說明了高濃度臭氧對PPS具有強氧化破壞性。而電袋復合除塵器實際工程應用中的煙氣條件下，即使電場產生微量臭氧，其濃度不及東北大學破壞性試驗濃度的1/10000。而目前電袋復合除塵器有70-80臺設備在運行，僅龍凈環(huán)保_有60多臺。_長運行時間_5年，還有4年、3年、2年不等，工程應用中未發(fā)現因臭氧影響濾袋破損的情況。